往復真空泵靠活塞往復運動(dòng)使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來(lái)抽氣的真空泵，又稱(chēng)活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時(shí)45～20000立方米，單級泵極限壓力約為103帕，雙級泵可達1帕。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過(guò)濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器，可抽除含水蒸汽的氣體；若安裝過(guò)濾器，則可抽除含塵氣體。
也可作為前級泵與羅茨真空泵組成羅茨往復真空泵機組
往復式真空泵(又稱(chēng)活塞式真空泵)屬于低真空獲得設備，用以從內部壓力等于或低于一個(gè)大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過(guò)35C。往復泵的極限壓力，單級為4×10～10Pa，雙級可達1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結晶、真空過(guò)濾等方面抽除氣體。
往復式真空泵對于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進(jìn)口處必須加裝過(guò)濾器。
往復泵的工作原理，如圖2所示。泵的主要部件是氣缸1及在其中做往復直線(xiàn)運動(dòng)的活寨2�；钫尿寗�(dòng)是用曲柄連桿機構3來(lái)完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。
泵運轉時(shí)，在電動(dòng)機的驅動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動(dòng)。當汪室在等舸內從存端向右端話(huà)動(dòng)時(shí)。由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減少，而形成抽氣過(guò)程，此時(shí)容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當活塞達到最右位置時(shí)，氣缸內就完全充滿(mǎn)了氣體。接著(zhù)活塞從右端向左端運動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內的氣體隨著(zhù)活塞從右向左運動(dòng)而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓強達到或稍大于一個(gè)大氣壓時(shí)，排氣閥4被打開(kāi)，將氣體排到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。當活塞再自左向右運動(dòng)時(shí)，又吸進(jìn)一部分氣體，重復前一循環(huán)，如此反復下去，直到被抽容內的氣體壓力達到要求時(shí)為止。
在實(shí)際應用中，為了提高抽氣效率，泵多半采用雙作用氣缸，即活塞能在兩個(gè)方向(往復)上同時(shí)進(jìn)行壓縮和抽氣，這主要是依靠配氣閥門(mén)來(lái)實(shí)現的。國產(chǎn)的w型往復泵即是單級的雙作用泵。
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