低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱(chēng)冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

　　按照低溫介質(zhì)的供給方式，低溫泵分為三種類(lèi)型：

小型制冷機低溫泵

　
閉循環(huán)小型制冷機低溫泵是由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機和壓縮機等部分組成。和流程低溫泵的最大區別是制冷機一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連，在制冷機與壓縮機連接管路中流動(dòng)的是常溫、高(或低)壓氣體介質(zhì)，不存在低溫介質(zhì)的輸送問(wèn)題，兼有流程低溫泵和貯槽式低溫泵的優(yōu)點(diǎn)，是目前比較理想的清潔超高真空泵。廣泛用于薄膜制備、微電子學(xué)技術(shù)、高能物理、小型環(huán)模設備以及其它各工業(yè)領(lǐng)域。

貯槽式低溫泵　

　　低溫介質(zhì)(液氦)直接注入泵內貯槽，使氣體冷凝達到抽氣目的。其優(yōu)點(diǎn)是泵的體積小、無(wú)振動(dòng)、無(wú)噪聲、操作簡(jiǎn)便，適用于大專(zhuān)院校及科研單位和高能加速器等大型真空工程。缺點(diǎn)是運轉費用高，每次加注低溫介質(zhì)的使用時(shí)間短，需長(cháng)期連續運轉的真空系統要定期補充工作介質(zhì)，并且受到低溫介質(zhì)供應條件的限制。

　　流程低溫泵

　　泵中低溫板冷卻管和制冷膨脹機相聯(lián)接，低溫介質(zhì)(氣氦)通過(guò)外管路供給低溫泵，吸收低溫板熱量后再回到制冷壓縮機，形成封閉循環(huán)，這種低溫泵的體積龐大、管路復雜、管路冷損較大。優(yōu)點(diǎn)是制冷功率大，最適宜抽除大氣量或大型真空室，廣泛用于空間環(huán)模設備、受控熱核反應裝置、火箭發(fā)動(dòng)機高空點(diǎn)火試驗以及低壓空氣動(dòng)力學(xué)試驗等。

如需轉載請注明來(lái)源：http://digitalkristy.com

點(diǎn)擊更多技術(shù)文獻