自1909年蓋德(W．Gaede)發(fā)明旋片泵并取得德國專(zhuān)利，1936年又發(fā)明氣鎮泵，1941年取得專(zhuān)利以來(lái)，旋片真空泵得到廣泛應用和不斷完善。60年代末，國際上出現了提高轉速，直聯(lián)的小型化趨勢，70年代初出現了直聯(lián)系列產(chǎn)品，到80年代初，又推出了改進(jìn)的系列產(chǎn)品，有多種可供用戶(hù)選配的附件，可以保護泵，或保護環(huán)境，泵本身結構也有改進(jìn)而使可靠性提高。

在泵的結構方面，為了能在停泵時(shí)防止返油，有的設有能自動(dòng)切斷油路的止回閥，有的設有進(jìn)氣通道截止閥，有的為了能在泵開(kāi)氣鎮運轉突然停電時(shí)自動(dòng)切斷氣路來(lái)保持泵口處于真空狀態(tài)而設有油泵和控制結構。在附件方面，有消霧器、氣味過(guò)濾器、阻擋碎玻璃等雜物用的人口過(guò)濾器、灰塵過(guò)濾器、蒸汽凝結阱、化學(xué)阱，有控制泵溫以提高水蒸氣抽除率和保護泵的溫控水量調節閥。到了80年代末，90年代初，又推出了油過(guò)濾器、能監視油溫、油壓、油質(zhì)等的電子顯示器，甚至可以與計算機聯(lián)結，進(jìn)行自動(dòng)控制，采用強制潤滑和風(fēng)冷，使泵的連續工作入口壓力達10kPa，甚至更高，同一臺泵的適用范圍因而更大。

雙級旋片真空泵，可以廣泛用于冰箱、空調機、燈泡、日光燈、瓶膽生產(chǎn)和電子、冶金、醫藥、化工、濾油機、印刷機械、包裝機等工業(yè)，可作為擴散泵、羅茨泵、分子泵等的前級泵，供電子儀器、醫療儀器等配套和實(shí)驗研究應用。由于直聯(lián)泵沒(méi)有皮帶摩擦的粉塵的污染，體積小、重量輕、材料節約、功能日趨完善，更被廣泛推廣應用。
噪聲成因和降低措施

旋片真空泵的噪聲，通常指泵在溫度穩定時(shí)，在極限真空下測得的噪聲級。它包括泵本身的噪聲和電機噪聲對用戶(hù)來(lái)說(shuō)，還關(guān)心泵溫未穩定時(shí)的起動(dòng)階段的噪聲和不同入口壓強下運轉的噪聲，還有開(kāi)氣鎮工作時(shí)的噪聲。因此。要考慮多種影響因素。

就發(fā)聲的部位來(lái)分，泵的噪聲有下列幾個(gè)可能方面：
(1)旋片對缸體的撞擊，泵殘余容積和排氣死隙中的壓力油的發(fā)聲；
(2)排氣閥片對閥座和支持件的撞擊；
(3)箱體內的回聲和氣泡破裂聲；
(4)軸承噪聲；
(5)大量氣、油沖擊擋油板等引起的噪聲；
(6)其他。如傳動(dòng)引起的噪聲，風(fēng)冷泵的風(fēng)扇噪聲等。
(7)電機噪聲，這是至關(guān)重要的因素。

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